ProCeas?使用**的OFCEAS技術，基于萃取吸收光譜法原理。
技術原理
此項以激光技術為基礎的檢測方法，在能夠滿足檢測亞ppb級雜質含量
含量的同時，能取得意想不到的高精度及重復性。ProCeas?采取低壓取
樣技術，內部分析壓力低于100mbar絕壓，此方法降低了檢測所需的進
樣量，以保證取得正確的檢測結果并優化了分析儀的響應時間。